[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-24] CL像測定と蛍光寿命測定による4H-SiCの欠陥評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○清水智也¹，青山淳一¹，馬場洋樹¹，粟田正吾¹，中庸行¹，畑山智亮² (堀場製作所¹，奈良先端大²)

キーワード：CL imaging、fluorescence lifetime、SiC