[30a-B1-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[30a-B1-3] 電子線による位相計測のための光ファイバーアレイ検出器の開発 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○石田高史¹，児玉哲司¹，川﨑忠寛²，小粥啓子³，生田孝⁴ (名城大理工¹，名大院工²，アプコ³，大阪電通大⁴)

キーワード：位相計測、検出器、STEM