[30a-B1-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[30a-B1-5] 3C-SiC/Si(001)界面における積層欠陥の収差補正TEM解析 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○山崎順¹，稲元伸²，野村優貴²，石田篤志²，秋山賢輔³，平林康男³，田中信夫¹ (名大エコ研¹，名大工²，神奈川県産技セ³)

キーワード：SiC、積層欠陥、収差補正TEM