[30a-B3-1~12] 5.3 光制御

[30a-B3-2] 光結合器応用に向けたRF-PECVDを用いたSiOx膜の検討 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○高橋博之^1,2，山岸雅司^1,3，平山直紀^1,3，斉藤茂^1,3，埜口良二^1,3，堀川剛^1,3 (PECST¹，PETRA²，産総研ナノデバイスセンター³)

キーワード：SiOx、SSC