[30p-G6-1~6] 13.4 配線技術

[30p-G6-3] ライナー層形成を目的としたアミディネート原料によるCo-CVDプロセスの反応機構解析 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○鈴木雄大，清水秀治，百瀬健，霜垣幸浩 (東大)

キーワード：コバルト、アミディネート、コバルトCVD