■空冷式ドライ真空ポンプ「NeoDry」

TBD

～研究開発用実験装置・機器・部品～ ■有機ＥＬ成膜装置（1インチ～4インチ）※省スペース・短納期・低コスト ■各種蒸着／分析装置用コンポーネント展示 ■各種導入機（直線・回転導入機） ■各種加工部品（特殊材料・セラミックス） ■超高真空チェンバー展示 ■真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ■新製品発表広告展示

■紀伊國屋書店代理店出版社学術雑誌の展示、パンフレットの配布

■ファイバーレーザ ■Blue / Violet レーザ ■パワーモニタ

■ナノ構造体の原子スケールシミュレーションを提供するソフトウエアパッケージAtomistix ToolKitのご紹介

■金属単結晶 ■酸化物単結晶 ■半導体結晶 ■フッ化物・アルカリハライド単結晶 ■クリスタルカッター

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■汎用マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COSMOL Multiphysics」の展示および資料配付: COMSOL Multiphysicsは、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された、マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)ベースの汎用物理シミュレーションソフトウェアです。最大の特徴は「マルチフィジックス(連成)解析に対する柔軟性とソフト...

■UHVスパッタカソード、石英加工品、真空コンポーネント、真空装置パネル展示

■セミリジッド同軸ケーブル ■極低温用同軸ケーブル ■超伝導同軸ケーブル ■同軸ケーブル関連部品

■CVD材料・スパッタリングターゲット・各種粉末・粒材料・スピンコート材料・その他

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス）～半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定～非接触型の形状測定システムDyvoce（ダイボス）は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

■LTCC多層基板 ■LTCCインターポーザー ■MEMS用パッケージ

■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGX Sensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICE oxford)

■微細形状測定機等のPR

■真空部品である、電流導入端子をはじめ配管部品、EVAC社のガラス配管をご紹介いたします。