2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

出展者一覧

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[At-4] (株)クレステック

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

[Aa-4] クロスライトソフトウェアインク日本支社

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

[Bs-8] 計測エンジニアリングシステム(株)

■汎用マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COSMOL Multiphysics」の展示および資料配付: COMSOL Multiphysicsは、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された、マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)ベースの汎用物理シミュレーションソフトウェアです。最大の特徴は「マルチフィジックス(連成)解析に対する柔軟性とソフト...

[Aa-16] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~非接触型の形状測定システムDyvoce(ダイボス)は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

[Aa-13] コーンズテクノロジー(株)

■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGX Sensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICE oxford)

[Aop-14] SCIVAX(株)

■ナノインプリント製品、受託設計製造サービス ■ナノインプリント装置の販売 ■光学シミュレーション、受託サービス

[Bs-4] サイバネットシステム(株)

■DiffractMOD: RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア ■FullWAVE:FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア ■BeamPROP:BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア ■FemSIM:FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア