■金属単結晶 ■酸化物単結晶 ■半導体結晶 ■フッ化物・アルカリハライド単結晶 ■クリスタルカッター

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■汎用マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COSMOL Multiphysics」の展示および資料配付: COMSOL Multiphysicsは、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された、マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)ベースの汎用物理シミュレーションソフトウェアです。最大の特徴は「マルチフィジックス(連成)解析に対する柔軟性とソフト...

■UHVスパッタカソード、石英加工品、真空コンポーネント、真空装置パネル展示

■セミリジッド同軸ケーブル ■極低温用同軸ケーブル ■超伝導同軸ケーブル ■同軸ケーブル関連部品

■CVD材料・スパッタリングターゲット・各種粉末・粒材料・スピンコート材料・その他

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス）～半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定～非接触型の形状測定システムDyvoce（ダイボス）は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

■LTCC多層基板 ■LTCCインターポーザー ■MEMS用パッケージ

■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGX Sensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICE oxford)

■微細形状測定機等のPR

■真空部品である、電流導入端子をはじめ配管部品、EVAC社のガラス配管をご紹介いたします。

■超高温スーパーRTA装置（SR1800D) ■集光照射式赤外線真空炉（IVF298W) ■均温熱処理装置（GFA430VN)他

■ナノインプリント製品、受託設計製造サービス ■ナノインプリント装置の販売 ■光学シミュレーション、受託サービス

■DiffractMOD:　RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア ■FullWAVE：FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア ■BeamPROP：BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア ■FemSIM:FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア

■卓上真空プラズマ装置【YHS-R】 ■回転式真空プラズマ装置【MUG-80】 ■大気圧プラズマ装置【P500-SM】

■高周波電源 ■高周波増幅器 ■ポストアンプ ■RFコンポーネント

■XES-40S1 コンパクトソーラシミュレータ ■UV-CL280 簡易型UV照射装置

■「産総研スーパークリーンルームの特徴と利用機会」紹介パネル。300mmウエハ現物展示。産総研共用施設利用制度紹介チラシ他。

■SEM用簡易型スパッタコーター　SC-701MkII ECO ■多種金属対応卓上型スパッタコーター　SC-701MkII ADVANCE ■卓上型高真空3源スパッタ装置　SVC-700TMSG/Adexcel