■酸化ガリウム単結晶基板は、当社が世の中に先駆け実用化を進めている材料であり、可視光から紫外光領域まで透明で、電気を流すことができる新しい半導体用基板です。この基板を用いることで、今までにない大光量の光を出すLEDや超高耐圧のパワーデバイスの実現が可能となります。

■半導体レーザー/ガルバノスキャナ　等

■YAGレーザー薄膜加工システム ■ワイヤーボンダー ■マイクロプロービングユニット ■精密電気計測用各種部品

TBD

■（1）SPECS Surface Nano Analysis社: 1）コンポーネント：PHOIBOS半球型エネルギーアナライザ, TOFスペクトロメータ, EELSスペクトロメータ, X線源（XR 50/XR 50 NAP）, X線モノクロメータ, UV光源, UVモノクロメータ, 電子源, イオン源, EB蒸着源, プラズマ源, フラッドガン, LEED/AES, NAP-RHEED, ...

■超小型超音波モータ ■小型ロボット ■AF用VCMユニット ■中空モータ ■小型光学式エンコーダ

■パネル、カタログ、PCモニター

■テラヘルツ分光システム ■比抵抗/ホール測定システム ■極低温プローバー

■スパッタリングターゲット ■MOCVD材料

■化合物半導体用有機金属（MO） ■太陽電池用MO ■シリコン半導体用MO ■エキシマレーザーガス、希ガス ■横浜研究所 ■アベルブラック（ＳＵＳ特殊処理） ■安定同位体ガス ■配管部品、各種フィルター ■特殊ウエハ ■石英部品製作・修理 ■高感度水分計、酸素計

■新製品　小型極低温プローバー（NISP）／ハンドリングツール ■極低温プローバーラボ冷凍機、ハンドリングツール、静電塗布装置

■高精度卓上小型ラッピングポリッシングマシンFACT200 ■高精度卓上小型ラッピングポリッシングマシンNF300 ■精密縦型研削装置NVG200A ■精密卓上両面研磨装置NFD4BL

■レーザーラマン顕微鏡 RAMANtouch ■先端増強ラマン散乱顕微鏡 TERSsense

TBD

■洗浄機

■原子間力顕微鏡 ■温度コントロ－ラ－ ■クライオスタット

■超高分解能非接触三次元表面形状計測システムBW-S501

■マイクロ露光装置

TBD