[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:30 A19 (E311)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:00 〜 09:15

[19a-A19-1] 450mmφシリコンエピタキシャル成長速度の数値計算

^○松井美沙子，羽深等 (横国大院工)

09:15 〜 09:30

^○齋藤あゆ美，桜井あゆみ，羽深等 (横国大院工)

09:30 〜 09:45

齋藤あゆ美，宮崎賢都，松井美沙子，^○羽深等 (横国大院工)

09:45 〜 10:00

^○村上英司郎¹，茂藤健太¹，野満建至¹，原英之²，西村浩人²，高倉健一郎¹，角田功¹ (熊本高専¹，ブルカーバイオスピン²)

10:00 〜 10:15

^○岡本隼人¹，堀眞聡¹，茂藤健太¹，崎山晋¹，塘内功大¹，原英之²，西村浩人²，高倉健一郎¹，角田功¹ (熊本高専¹，ブルカーバイオスピン²)

10:15 〜 10:30

^○岡田竜弥，井村公彦，野口隆 (琉大工)

休憩10:30～10:45 (10:30 〜 10:45)

10:45 〜 11:00

^○（M2）山本将悟，森崎誠司，林将平，中谷太一，東清一郎 (広大院先端研)

11:00 〜 11:15

^○中谷太一，林将平，森崎誠司，上倉敬弘，山本将悟，東清一郎 (広大院先端研)

11:15 〜 11:30

^○（D）伊藤寿¹，桑原卓哉¹，樋口祐次¹，尾澤伸樹¹，寒川誠二²，久保百司¹ (東北大院工¹，東北大流体研²)

11:30 〜 11:45

^○八木麻実子，須田隆太郎，小島明，Mentek Romain，白樫淳一，越田信義 (農工大院工)

11:45 〜 12:00

^○本田拓夢¹，武田健太²，神岡純¹，米田淳³，Marian Marx³，小寺哲夫^4,5，樽茶清悟^2,3,5，小田俊理¹ (東工大量子ナノ研¹，東大²，理研³，東工大⁴，東大ナノ量子機構⁵)

12:00 〜 12:15

^○セイソン¹，橋本修一郎¹，小杉山洋希¹，武井康平¹，麻田修平¹，徐泰宇¹，若水昂¹，今井亮佑²，徳武寛紀²，松川貴³，富田基裕²，小椋厚志²，昌原明植³，渡邉孝信¹ (早大理工¹，明大理工²，産総研³)

12:15 〜 12:30

^○武井康平¹，小杉山洋希¹，橋本修一郎¹，セイソン¹，麻田修平¹，徐泰宇¹，若水昂¹，松川貴²，昌原明植²，渡邉孝信¹ (早大理工¹，産総研²)