[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月20日(土) 09:00 〜 12:15 A19 (E311)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:00 〜 09:15

[20a-A19-1] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム（Ⅲ）

^○谷島孝¹，飯田健次郎^1,2，安井政治¹，ソマワンクンプアン^1,2，前川仁^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

09:15 〜 09:30

^○奥田修史¹，武内翔^1,2，扇子義久^1,2，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ¹，リソテック²，産総研³)

09:30 〜 09:45

^○北山侑司¹，吉岡昌男^1,2，入田亮一^1,2，三宅賢治^1,2，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ技術研究組合¹，PMT²，産総研³)

09:45 〜 10:00

^○遠江栄希¹，千葉貴史^1,3，寺田昌男^1,3，清水真博^1,3，山口博隆²，石田夕起^1,2，池田伸一^1,2，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技組¹，産総研²，坂口電熱³)

10:00 〜 10:15

^○三浦典子¹，相澤洸^1,2，山田武史^1,2，大西康弘^1,2，池田伸一^1,3，遠江栄希¹，石田夕起^1,3，三ケ原孝則¹，中戸克彦¹，ソマワンクンプアン^1,3，原朗^1,3 (ミニマルファブ¹，米倉製作所²，産総研³)

10:15 〜 10:30

^○中戸克彦¹，居村史人¹，浅野均¹，鈴木真之佑^1,3，松田祥吾^1,3，柳沼綾美^1,3，森川清彦^1,3，服部昌^1,3，池田伸一^1,2，クンプアンソマワン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²，光洋サーモシステム³)

休憩10:30～10:45 (10:30 〜 10:45)

10:45 〜 11:00

^○古賀和博¹，梅山規男^1,2，居村史人¹，浅野均¹，遠江栄希¹，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

11:00 〜 11:15

^○田中宏幸¹，清水禎樹^1,2，小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，新堀俊一郎³，加藤木真紀³，高橋賢³，白山裕也³，横須賀俊太郎³，ソマワンクンプアン^1,2，原朗^1,2 (ミニマルファブ¹，産総研²，三友製作所³)

11:15 〜 11:30

^○本村大成^1,2，高橋和貴³，笠嶋悠司¹，菊永和也¹，上杉文彦¹，安藤晃³，猿渡新水¹，田中宏幸²，清水禎樹^1,2，中野禅^1,2，小木曽久人^1,2，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²，東北大³)

11:30 〜 11:45

^○加藤旭彦^1,3，小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，薮田勇気³，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²，誠南工業³)

11:45 〜 12:00

^○李寧¹，羽深等¹，池田伸一²，石田夕起²，原史朗² (横国大院工¹，産総研²)

12:00 〜 12:15

^○石田夕起^1,2，池田伸一^1,2，三ケ原孝則²，中戸克彦²，三浦典子²，羽深等³，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²，横国大³)