[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

[17a-A14-11] 集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化

^○米谷玲皇，青沼正 (東大工)

キーワード：集束イオンビーム,化学気相成長法,立体ナノ構造