[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

△ [17a-A14-9] 屈折率分布型レンズアレイを用いた走査投影露光の解像度と均一性改善の課題

^○佐藤貴紀¹，入澤旬²，堀内敏行^1,2 (東京電機大院工¹，東京電機大工²)

キーワード：リソグラフィ,屈折率分布型レンズアレイ,走査