[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-2] 高品質4H-SiC溶液成長における多形変化抑制メカニズム

^○原田俊太，山本祐治，村山健太，青柳健大，酒井武信，田川美穂，宇治原徹 (名大院工)

キーワード：SiC,転位,溶液成長