[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-9] 2度off4H-SiC Si面エピ成長における表面欠陥低減

^○浅水啓州^1,2，工藤千秋^1,3，伊藤佐千子^1,4，升本恵子^1,4，西尾譲司^1,5，田村謙太郎^1,2，児島一聡^1,4，大野俊之^1,6 (FUPET¹，ローム²，パナソニック³，産総研⁴，東芝⁵，日立製作所⁶)

キーワード：SiC