2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[17a-A8-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

2014年9月17日(水) 10:00 〜 11:45 A8 (E207)

10:15 〜 10:30

[17a-A8-2] ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長における欠陥低減

寺地徳之 (物材機構)

キーワード:ダイヤモンド,薄膜成長