[17a-A8-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-A8-3] 高品質高温高圧合成IIa基板を用いたダイレクトウェハ化

^○杢野由明，加藤有香子，坪内信輝，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一 (産総研)

キーワード：ダイヤモンド,CVD