[17a-C5-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-C5-1] 六方晶窒化ホウ素薄膜の減圧CVD成長

^○梅原直己¹，増田敦¹，清水乙生²，光野徹也¹，小南裕子¹，原和彦^3,4 (静岡大院工¹，静岡大工²，静岡大電子研³，静岡大創造大院⁴)

キーワード：六方晶窒化ホウ素,CVD,薄膜