[17a-C5-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-C5-10] スパッタ成膜AlN上単結晶ナノコラムのフリップチップボンディング

^○林宏暁¹，富松大典¹，福島大史¹，野間友博¹，野村一郎¹，岸野克巳^1,2 (上智大¹，上智大ナノテク研究センタ²)

キーワード：窒化物,ナノコラム,フリップチップ