PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 09:30 〜 09:45 [17a-C5-3] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN膜の構造と機械特性 —基板バイアス電圧依存性— ○野間正男1,山下満2,江利口浩二3,長谷川繁彦4 (神港精機1,兵庫工試2,京大院工3,阪大産研4) キーワード:窒化ホウ素,基板バイアス,薄膜