[17a-C5-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-C5-9] パターニングによるAlNスパッタ膜上窒化物ナノコラムの結晶品質制御

^○福島大史¹，林宏暁¹，今野裕太¹，岸野克巳^1,2 (上智大¹，上智大ナノテク²)

キーワード：ナノコラム