[17a-C6-1~6] 3.13 半導体光デバイス

[17a-C6-3] Si上スパッタエピタキシャルGe膜の欠陥評価

^○葉文昌 (島根大)

キーワード：スパッタ,エピタキシー,ゲルマニウム