[17a-PA3-1~7] 13.4 デバイス／集積化技術

[17a-PA3-6] ジャンクションレストランジスタの表面ラフネス散乱及び不純物散乱の影響

^○一居雅人¹，土屋英昭^1,3，鎌倉良成^2,3，森伸也^2,3，小川真人¹ (神戸大工¹，阪大工²，JST CREST³)

キーワード：ジャンクションレストランジスタ,表面ラフネス散乱,不純物散乱