2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[17a-PB1-1~8] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年9月17日(水) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB1会場)

09:30 〜 11:30

[17a-PB1-1] RF6kW小型熱プラズマ装置の開発

蔦川生璃,三澤啓一,飯島善時,鈴木康輔,濱邉雅史,小牧久 (日本電子)

キーワード:熱プラズマ