PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [17a-PB4-8] スパッタエピタキシー法を用いたSiC膜の形成と太陽電池への応用 ○渡辺崚介,塚本貴広,須田良幸 (東京農工大院工) キーワード:スパッタ,SiC,ヘテロ接合太陽電池