[17a-S9-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[17a-S9-5] フェムト秒レーザーによる微細周期構造のナノインプリント法への応用

^○大塚昌孝¹，染川智弘²，川上慈郎¹，西籔和明¹，前田佳伸¹，松谷貴臣¹，藤田雅之^2,3，宮永憲明³ (近大理工¹，レーザー総研²，阪大レーザー研³)

キーワード：フェムト秒レーザー,周期構造,ナノインプリント