[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-10] O2導入Arスパッタ法により形成したAl添加CeO2薄膜の特性評価

^○野谷祐貴¹，原健太¹，大澤隆志¹，青木和也¹，藤山啓太¹，鈴木摂²，石橋啓次²，山本康博¹ (法政大学¹，コメット²)

キーワード：CeO2,スパッタリング,特性評価