[17p-A14-1~12] 界面ナノ電子化学： 半導体ウェットプロセスの最前線

△ [17p-A14-8] 半導体プロセスを用いたナノギャップ電極の作製

^○吉水康人，田中裕介，冨田寛 (東芝)

キーワード：ナノギャップ,ウェット,エッチング