2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[17p-A16-1~14] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月17日(水) 14:00 〜 17:45 A16 (E307)

17:00 〜 17:15

[17p-A16-12] HfOx抵抗変化メモリにおけるスイッチング特性の酸化物膜厚依存性

伊藤大介,大塚慎太郎,濱田佳典,清水智弘,新宮原正三 (関西大)

キーワード:抵抗変化メモリ