2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[17p-A16-1~14] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月17日(水) 14:00 〜 17:45 A16 (E307)

17:30 〜 17:45

[17p-A16-14] Cu/MoOx/TiN ReRAMの初期スイッチ過程における導電フィラメント

有田正志,大野裕輝,工藤昌輝,高橋庸夫 (北大情報)

キーワード:抵抗変化メモリ,導電フィラメント,その場TEM観察