[17p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

[17p-A16-9] エピタキシャル成長で形成したトンネル接合の品質改善によるトンネルFETの性能向上

^○森田行則，森貴洋，右田真司，水林亘，福田浩一，松川貴，遠藤和彦，大内真一，柳永勛，昌原明植，太田裕之 (産総研)

キーワード：トンネルFET,TFET,エピタキシャル成長