[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

△ [17p-A17-11] 大気圧窒素プラズマ中レーザー照射による4H-SiC中への窒素ドーピング

^○小島遼太，池上浩，渡邊陽介，池田晃裕，中村大輔，浅野種正，岡田龍雄 (九大)

キーワード：SiC,laser