[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-12] KrFエキシマレーザーの液体窒素中照射による4H-SiCへのNのドーピング

^○丸井大地，池田晃裕，池上浩，浅野種正 (九大)

キーワード：SiC,ドーピング