[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-14] アルファ粒子誘起過渡電荷を用いた4H-SiCショットキーバリアダイオード中の欠陥準位評価

^○（M1）神林佑哉^1,2，小野田忍²，岩本直也²，加田渉¹，牧野高紘²，星乃紀博³，土田秀一³，大島武²，神谷富裕²，花泉修¹ (群馬大院理工¹，原子力機構²，電中研³)

キーワード：SiC,欠陥準位,アルファ粒子