[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-4] 4H-SiCエピ膜の表面欠陥とゲート酸化膜信頼性

^○石山修^1,3，山田敬一^1,4，先崎純寿^1,2，北畠真^1,3 (FUPET¹，産総研²，パナソニック³，東レリサーチセンター⁴)

キーワード：4H-SiC