[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-9] SiC基板上Si薄膜のウェット酸化と界面構造の安定

^○（PC）梁剣波¹，林朋宏¹，西田将太¹，森本雅史¹，重川直輝¹，新井学² (大阪市立大¹，新日本無線²)

キーワード：表面活性化ボンディング,4H-SiC,SiOx/SiC