2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)

17:15 〜 17:30

[17p-A19-11] 非晶質Ge/SiO2のAu誘起横方向成長に及ぼす応力印加効果

○(B)酒井崇嗣1,中嶋一敬1,茂藤健太1,本山慎一2,楠田豊2,古田真浩2,中庸行3,沼田朋子3,高倉健一郎1,角田功1 (熊本高専1,サムコ2,堀場3)

キーワード:金属誘起固相成長,応力