[17p-A27-1~14] 14.3電子デバイス・プロセス技術，15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

△ [17p-A27-11] 非接触超音波共振法による高温における高抵抗GaNのキャリアダイナミクスの研究

^○（M2）筒井裕貴¹，荻博次¹，中村暢伴¹，森勇介²，今出完²，吉村政志²，平尾雅彦¹ (阪大院基礎工¹，阪大院工²)

キーワード：超音波,高温,キャリア