[17p-A27-1~14] 14.3電子デバイス・プロセス技術，15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

[17p-A27-14] Radiation Hard AlGaN/GaN Heterostructure- Micro-Hall Sensors

Abdelkader Abderrahmane¹，^○高村司²，佐藤真一郎³，大島武³，岡田浩^1,2，アダルシュ サンドゥー^1,2 (豊橋技大工¹，豊橋技大アイリス²，日本原子研³)

キーワード：AlGaN/GaN Heterostructure,radiation