[17p-A6-1~8] 6.5 表面物理・真空

[17p-A6-2] サファイア上にミストCVD成長させたα-Ga₂O₃薄膜のCAICISSによる表面構造解析

^○丹波大樹¹，尾坂駿¹，岡坂翔太¹，織田真也^2,3，田畑博史¹，久保理¹，藤田静雄²，片山光浩¹ (阪大院工¹，京大院工²，ROCA³)

キーワード：酸化ガリウム,CAICISS,CVD