[17p-A6-1~8] 6.5 表面物理・真空

[17p-A6-3] フレキシブル基板上 ITO 薄膜の熱的相転移過程解明に関する研究

^○塩飽義大¹，口山崇²，井上健二²，丸山秀夫³，武藤俊介⁴，関修平¹ (阪大院工¹，カネカ²，カネカテクノリサーチ³，名大エコトピア科学研究所⁴)

キーワード：ITO,アニール,フレキシブル基板