[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-A8-13] 部分酸素終端(111)ダイヤモンド表面の真空熱処理による表面伝導回復

^○林佑哉，原壮志，瀬下裕志，袴田知宏，小野和子，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：ダイヤモンド,MOSFET,水素終端