[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-A8-14] H2O形成ALD-Al2O3膜によるダイヤモンド表面保護効果の同位体解析

^○平岩篤¹，齊藤達也²，大長央²，川原田洋² (早大ナノ理工¹，早大理工²)

キーワード：原子層堆積,酸化アルミニウム,不純物