[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-A8-16] ポストウェットアニールによるp型(111)ダイヤモンドへのオーミック接触の形成

^○南山拓真¹，宮田大輔¹，長南幸直¹，徳田規夫^1,2,3，小倉政彦^2,3，竹内大輔^2,3，山崎聡^2,3，猪熊孝夫¹ (金沢大院自然¹，産総研エネ部門²，JST,CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,オーミック接触,OH終端