[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-A8-7] プラズマCVDダイヤモンドのリン取り込み効率温度依存性

^○（PC）山本卓，小泉聡 (物材機構)

キーワード：n型ダイヤモンド半導体,マイクロ波プラズマ化学気相堆積法