[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-A8-9] n型ダイヤモンド薄膜の表面平坦化による接触抵抗低減

^○（P）松本翼^1,2,3，川島宏幸^1,2,4，加藤宙光^1,2，竹内大輔^1,2，山崎聡^1,2,4 (産総研¹，CREST²，イノベーションスクール³，筑波大⁴)

キーワード：ダイヤモンド,パワーデバイス,接触抵抗