[17p-C5-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-C5-5] ハイドライド気相成長におけるGaNテンプレートの品質がGaN基板に与える影響

^○江上卓也，山本健志，稲垣卓志，板垣憲広，岡田成仁，只友一行 (山口大院理工)

キーワード：ハイドライド気相成長,窒化ガリウム