[17p-C6-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[17p-C6-3] ホールアレイ型金属回折格子付ＳＯＩフォトダイオードの斜入射光に対する分光感度特性

^○佐藤弘明^1,2，岩田将平²，小野篤史^1,2，猪川洋^1,2 (静岡大電子研¹，静岡大工²)

キーワード：回折格子,SOIフォトダイオード,斜入射光検出