2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月17日(水) 13:30 〜 15:30 PA1 (第1体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PA1会場)

13:30 〜 15:30

[17p-PA1-3] 小型分光器の実現に向けた面内回転型MEMS分光デバイス

岡勇作,篠崎亮輔,下川房男,大平文和,高尾英邦 (香川大)

キーワード:optical MEMS,SiOB,分光器