13:30 〜 15:30
△ [17p-PA1-3] 小型分光器の実現に向けた面内回転型MEMS分光デバイス
キーワード:optical MEMS,SiOB,分光器
一般セッション(ポスター講演)
13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年9月17日(水) 13:30 〜 15:30 PA1 (第1体育館)
ポスター掲示時間13:30~15:30(PA1会場)
13:30 〜 15:30
キーワード:optical MEMS,SiOB,分光器