[17p-PA1-1~16] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[17p-PA1-5] 積層メタル構造による3軸加速度センサの検討

^○松島隆明¹，小西敏文¹，山根大輔²，年吉洋³，益一哉²，町田克之^1,2 (NTT-AT¹，東工大²，東大³)

キーワード：CMOS-MEMS,加速度センサ,積層メタル構造