[17p-PA3-1~7] 3.15 Silicon photonics

[17p-PA3-2] Low-Loss Optical Interlayer Transition for Vertically-Stacked Optical Circuits Based on Amorphous Silicon

^○Ryohei Takei^1,2, Yuriko Maegami^1,2, Emiko Omoda^1,2, Toshihiro Kamei^1,2, Youichi Sakakibara^1,2, Masahiko Mori^1,2 (AIST¹, PECST²)

Keywords:アモルファスシリコン,シリコンフォトニクス,オンチップ光配線